真空泵原理種類知多少?

真空泵(即真空產生器或真空幫浦)的作用是將一空間中的氣體排出製造真空狀態的機器，它被大量運用醫療、化工、加工、機械…等產業上，究竟這樣被經常使用的機器，它所運作的原理為何?

真空泵的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型：氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。
氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空在進行抽氣的過程中，通常會經歷以下的階段

大氣抽至中真空範圍，壓力隨時間之變化為自然對數的衰減，抽氣過程是非常的快速，時間極短。而當從中度真空進入高真空範圍時，表面吸附性氣體的退吸決定壓力。最後在高真空範圍時，表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。

真空的分類

依照抽氣方式不同，真空幫浦可歸類為以下幾個分類： 

(一) 排氣式

• 正位移式幫浦
•  往復式幫浦
• 迴轉式幫浦
• 動能式幫浦
• 機械動能傳遞式
• 流體（蒸氣）動能傳遞式

(二) 貯氣式

• 吸附式幫浦
• 吸附幫浦
• 結拖幫浦
• 冷凍幫浦
• 離子幫浦

選擇真空泵需瞭解的規格

• 抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
• 氣體選擇性：與幫浦操作原理相關
• 終極壓力：即幫浦能抽到的最低壓力，通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
• 排氣口的壓力
• 幫浦清潔度

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