真空泵(真空幫浦)原理種類知多少?

真空泵(即真空幫浦)的作用是將一空間中的氣體排出製造真空狀態的機器，它被大量運用醫療、化工、加工、機械…等產業上，究竟這樣被經常使用的機器，它所運作的原理為何？

真空泵的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型：氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。
氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空的分類

依照抽氣方式不同，真空幫浦可歸類為以下幾個分類：

排氣式：

正位移式幫浦 (positive displacement type)

往復式幫浦

迴轉式幫浦 (rotary pump and scroll pump)

動能式幫浦 (kinetic energy type)

機械動能傳遞式 (turbo-molecular pump)

流體（蒸氣）動能傳遞式 (diffusion pump)

貯氣式：

吸附式幫浦 (surface adsorption type pump)

吸附幫浦 (sorption pump)

結拖幫浦 (getter pump)

冷凍幫浦 (cryogenic pump，簡稱cryo pump)

離子幫浦 (ion pump)

水冷式真空幫浦

選擇真空泵需瞭解的規格

抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率大小。

氣體選擇性：與幫浦操作原理相關。

終極壓力：即幫浦能抽到的最低壓力，通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何。

排氣口的壓力。

幫浦清潔度。

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