真空幫浦

何謂真空幫浦

特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度之真空狀態之機件，統稱為幫浦 （真空產生器）。有的真空幫浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉幫浦、擴散幫浦或噴射幫浦之類的蒸氣噴射泵浦。

真空幫浦-發展史

真空幫浦技術是一項古老的技術，早在1640年Galileo即曾經利用活塞機構來抽真空。現今之真空幫浦則與舊有的幫浦在抽氣性能、功能設計及應用範圍上有著截然不同之處。最主要原因是因應高科技產業如半導體製造及光電產業等

真空幫浦-原理

真空幫浦（vacuum pump）以產生真空為目的的低壓發生器，氣體自動會流向壓力較低之處是一種自然法則。真空幫浦的使命就是在系統中連續維持低壓，使氣體相連的容器流動過來；依照自然法則，氣體是自然流過來，而不是勉強硬拉過來。

真空幫浦-用途

由於真空幫浦之性能隨操作條件有很大的差異，針對不同之操作壓力範圍必須使用不同種類之真空幫浦，真空幫浦對產業之重要性，是因為對任何製程機台、鍍膜設備或真空儀器而言，唯有靠真空幫浦來抽，才能以人為方式創造出低壓、潔淨、無污染、低水氣之高品質，真空環境，這個真空環境正是確保製程品質，達到設計目標之最重要條件。

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